设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-62872517

电子邮箱: whshi2007@sinano.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 时文华

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: NV-GSD/HE

所属科研设施:

主要功能: 注入硼、磷等元素

主要技术指标: 最大注入能量900KEV;6英寸多片同时作业；片内均一性<3%；

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: