设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 025-83790295

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 崔铁军

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: ABM/6/350

所属科研设施:

主要功能: 用于加工微纳结构集成电路

主要技术指标: 曝光面积150mmX150mm，分辨率1.5um（双面），对准精度±3um（双面）

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: