设备分类编码: 120399
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [电子与通信技术]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 0512-69588061
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通讯地址:
邮政编码:
联系人: 周连群
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他
规格型号: EVG101
所属科研设施:
主要功能: EVG101喷胶机是集旋转涂胶和喷雾涂胶功能一体的设备
主要技术指标: (1)基片夹具尺寸:3”-6”圆片;(2)基片转速:10-10000 rpm;(3)旋转加速度:0-40000rpm/s;(4)喷胶均匀性: ±10%;(5)涂胶均匀性: ±3%;(6)喷胶流速:10-5000 微升/秒;(7) 喷胶流量:100 – 50000 微升;(8)喷胶供应回吸量:0-2000微升,可编程;(9)供应系统容量:50毫升。
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: