设备分类编码: 120304

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-69588061

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 周连群

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电子产品通用工艺实验设备

规格型号: MP600S

所属科研设施:

主要功能: 用于低应力单层/多层金属薄膜制备，二者均在压电和声波生物传感器的相关基础研究中起到不可替代的作用。

主要技术指标: (1)300 W射频源；(2)2 kW直流源；(3)共四个底电极：三个底电极为水冷，一个可加热到350℃；(4)三路反应气体分别为Ar, N2, O2;(5)反应腔内径为600mm，高度为300mm；(6)溅射前腔内压力：≤7*10-8Torr；(7)偏置电压：10V－300V可调；

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: