设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 025-83621215

电子邮箱: diwu@nju.edu.cn

通讯地址: 南京市栖霞区仙林大道585号南京大学仙林校区

邮政编码: 210023

联系人: 吴迪

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MJB4

所属科研设施:

主要功能: 图案制备。

主要技术指标: 双面对准，单面曝光，CCD观测。光刻分辨率：0.8μm。最大光刻尺寸：Φ4。

安放地址: 唐仲英楼LB07室

服务内容: *

服务的典型成果: *

对外开放共享规定: 参见学校规定

参考收费标准: 400元/样