设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-54345164

电子邮箱: xdtang@sist.ecnu.edu.cn

通讯地址: 中山北路3663号

邮政编码: 200062

联系人: 唐晓东

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: Compact 12

所属科研设施:

主要功能: 外延膜制备

主要技术指标: 4英寸

安放地址: 中山北路3663号

服务内容: 是一种半导体氧化物外延薄膜的生长设备。应用于铁电、铁磁氧化物材料薄膜及其多层膜（如：超晶格、隧道结）的制备。

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 通过上海市公共服务平台申请，电话预约，送样来测

参考收费标准: 面议