设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 025-83594668

电子邮箱: diwu@nju.edu.cn

通讯地址: 南京市栖霞区仙林大道590号南京大学仙林校区

邮政编码: 210023

联系人: 吴迪

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: PCD75 CLUSTER

所属科研设施:

主要功能: 沉积各种金属、电介质薄膜。能与蒸发镀膜连用。

主要技术指标: 4个2英寸磁控靶，2个射频源，2个直流源，4英寸衬底，加热至800°C。

安放地址: 唐仲英楼LB07室

服务内容: *

服务的典型成果: *

对外开放共享规定: 参见学校规定

参考收费标准: 面议