设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0510-81817021

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联系人: 罗九斌

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: DAD3650

所属科研设施:

主要功能: DAD3650是全自动双轴机械划片机，可用于多种材质的6inch和 8inch晶圆或WLP晶圆的划片，也可用于最大250mm的方形基板 切割。

主要技术指标: 双主轴切割系统，主轴转速600-60000RPM； 支持切割刀片最大直径58MM； X轴单步精度0.1MM，Y1/Y2轴单步精度0.0001MM，Z1/Z2轴单步精度0.001MM； X轴切割速度0.1-1000MM/S，Y1/Y2轴切割速度300MM/S，Z1/Z2切割速度50MM/S； 最小切割宽度小于50UM

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: