设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 化学, 材料科学, 能源科学技术]

仪器设备来源: 研制

联系电话: 0512-67872902

电子邮箱: xylzf_1999@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 辛煜

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: Plasma-1

所属科研设施:

主要功能: 可以进行多晶硅表面干法制绒或材料表面改性等。 单次处理多晶硅制绒片16片； 等离子体放电口径：892mm*892mm； 射频放电功率>3KW； 制绒片内均匀性好于95%； 框内均匀性好于95%； 最小平均反射率<5%。

主要技术指标: 极限真空度小于10-5Pa； 到达极限真空度的抽气时间小于60minl； 三路质量流量计，最大流量为1000sccml； 可进行SF6/O2/Cl2三路气体的供气； 最大射频功率5KW； 等离子体的放电区域为700mm*700mm。

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无