设备分类编码: 120404

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [工程与技术科学基础学科, 机械工程]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65111693

电子邮箱: davic8325@163.com

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 楼益民

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>热处理加工工艺实验设备

规格型号: Photonic professional

所属科研设施:

主要功能: 功能：三维纳米结构加工应用：微纳结构加工

主要技术指标: 1. fs光纤激光器，脉冲长度大于120fs，重复频率80MHz，平均功率大于120mW，中心波长780nm； 2. 加工面积：100x100mm2，扫描面积100x130mm2; 3. 配置透镜： 1） x100，NA=1.4, WD=170um; 2） x63，NA=0.75, WD=1.7mm; 4. 夹具： 1）10x30mmΦ，适用基底厚度170um; 2）3x2’’Φ，适用基底厚度525um; 3）1x4’’Φ，适用基底厚度525um; 5. 隔震平台900x900mm2; 6. 定位精度： 100x100mm2面积：<1um (拼缝精度)； 7．加工精度：横向：200nm，2D线宽分辨率120nm，3D线宽分辨率150nm； 纵向：线宽小于450nm.

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无