设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-61198039

电子邮箱: huangyongqing@bupt.edu.cn

通讯地址: 教4一层东侧

邮政编码: 100876

联系人: 黄永清

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: 1600*1500*1470mm/ICP-98C

所属科研设施:

主要功能: 对Ⅲ-Ⅴ族材料进行等离子体刻蚀

主要技术指标: 均匀性：±5% (4英寸内)

安放地址: 北京市北京市海淀区西土城路10号

服务内容: 新材料

服务的典型成果: 新材料

对外开放共享规定: 暂无

参考收费标准: 暂无