设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [力学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-67162526

电子邮箱: cywang@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 王传洋

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: lkj-id-150

所属科研设施:

主要功能: 表面清晰抛光致膜

主要技术指标: 离子口径150.200EV-600EV

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无