设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 化学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-67163109

电子邮箱: jxtang@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 唐建新

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: Inc

所属科研设施:

主要功能: 具有有机材料热蒸发沉积和金属材料热蒸发沉积成膜功能。

主要技术指标: 腔体内有八个源用来置放不同的材料，并且一次可以对四个样品进行蒸镀，同时配置两个电流源加热材料，实际蒸镀时真空可以达到10-7torr

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无