设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 化学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-69157165

电子邮箱: lli@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 李亮

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: LabNano 9100

所属科研设施:

主要功能: 可以将材料通过真空沉积到膜上

主要技术指标: 1．反应腔 304或316 不锈钢。可以生长最大6 英寸样品的腔体，氮气保护的双O-Ring 高温密封系统，有效隔绝其他气体渗漏。基底加热温度RT-400℃可控，控制精度±1℃。腔体烘烤温度RT-200℃可控，控制精度±1℃。 2．沉积模式 包括至少以下二种工作模式： 高速沉积的连续模式，沉积超高宽深比结构的停流模式。 3．前驱体源输运系统 共6路前驱体源，1路为常温源，接水和臭氧；5路为加热源，加热温度RT-200℃可控，控制精度±1℃。加热源配备耐高温(325°C) 世伟洛克手动阀，前驱体源瓶体积50cc 4．ALD阀每一路前驱体配置一个世伟洛克原子层沉积专用高速高温ALD阀，ALD阀加热温度RT-150℃可控。 ALD阀最小脉冲时间~10 msec

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无