设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 化学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-69155260

电子邮箱: gqdi@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 狄国庆

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: MFS 450

所属科研设施:

主要功能: 可制备各种金属、非金属薄膜的复合多层薄膜，特别是磁性薄膜；可进行多元共溅射，并可同时导入二种反应气体进行反应溅射；可对基片加热溅射和反溅射清洗。

主要技术指标: 1． 极限真空： 7×10-6Pa 2． 磁控靶： 　Φ英寸×5只（永磁） 3． 靶—基距： 20—100mm 4． 基片架： 直接水冷，可转动 5． 样品： 2.6×76mm或F60mm×8（最大） 6． 气路： 0～10sccm，0～10sccm，0～100sccm 质量流量计、共4路进气 7．电源： RF 13.65MHZ 600W×2（进口） DC 1000W×1 （进口） RF 500W×2（国产） 8．机械手： 2只

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无