设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [化学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-54345123

电子邮箱: lsun@ee.ecnu.edu.cn

通讯地址: 中山北路3663号

邮政编码: 200062

联系人: 杨平雄

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: JGP560

所属科研设施:

主要功能: 薄膜制备

主要技术指标: 真空度10-5Pa，5靶位，衬底可加热800度

安放地址: 中山北路3663号

服务内容: 超高真空多功能磁控溅射系统是带有进样室的高真空多功能磁控溅射镀膜设备。

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 通过上海市公共服务平台申请，电话预约，送样来测

参考收费标准: 面议