设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-54342939

电子邮箱: xmma@phy.ecnu.edu.cn

通讯地址: 闵行物理楼138

邮政编码: 200062

联系人: 蒋冬梅

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: MIS-560C

所属科研设施:

主要功能: 制备薄膜

主要技术指标: 真空镀10-6

安放地址: 闵行物理楼138

服务内容: 可用于开发纳米级的单层及多层功能膜-各种硬质膜、光学膜、金属膜、半导体膜、磁性薄膜、介质膜和氧化物薄膜等

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 通过上海市公共服务平台申请，电话预约，送样来测

参考收费标准: 面议