设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 工程与技术科学基础学科, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65112711

电子邮箱: liuquan@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 刘全

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: LKJ-ID-150

所属科研设施:

主要功能: 可刻蚀SiO2、Si、SiN、Mo、MoSi、Ta、TaSi、HfO2、光刻胶和多种金属等，即在玻璃或石英等基片上刻蚀衍射光学元件。离子束刻蚀是微细加工的一种重要手段。

主要技术指标: 离子刻蚀系统由离子源、真空系统、反应室、气路系统、水冷系统五大部分组成 1．离子源口径：Ф150mm 2．有效离子束直径：Ф100mm 3. 离子束流密度：≥1mA/cm2 4. 离子能量：150 eV～1000eV 5．真空系统：1500升/秒分子泵、11升/秒机械泵各1台。带真空计。 6．反应室尺寸：Ф325mm 7．气路系统：2路进气（可作清洗）；2个质量流量计， 2路显示。 8．可加工片子尺寸：Ф150mm以内。 9．均匀性：±5% 10. 水温控制范围：5℃～25℃

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无