设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65881259

电子邮箱: mfpeng@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 彭明发

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: Savannah-100

所属科研设施:

主要功能: 该原子沉积系统主要用于实验室级的薄膜制备，特别是致力于有机发光显示（OLED）的封装和场效应晶体管（FET）的介质层的层积。

主要技术指标: 具有4路前驱体源，其中1路不加热，3路为加热源，同时适用于固态源与液态源，加热源温度不低于200℃，控制误差在±1℃以内。 与前驱体源相配的4路独立的可加热前驱体管路系统，加热温度不低于200℃，控制误差在±1℃以内。生长时可以同时提供4路不同材料气源，前驱体在进入反应腔体及沉积之前没有任何交汇。 该系统包括一台进口的高浓度、可调节、优质臭氧发生器。 样品基底最大直径不小于4英寸，可以兼容4英寸以下不规则形状样品。 基底加热温度不低于500℃，控制误差在±1℃以内。 设备使用氮气或氩气做载气，使用质量流量计控制载气流量10-1000SCCM。

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无