设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学, 能源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65880942

电子邮箱: jxtang@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 唐建新

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: NONE

所属科研设施:

主要功能: 该设备是有机光电半导体器件和功能纳米器件制备的重要设备。途主要用于有机薄膜和金属薄膜/电极的蒸镀，单层及多层功能薄膜材料的蒸镀，有机 OLED和 OPV器件的制备和研究。

主要技术指标: 该设备主要由蒸发沉积室、手套箱、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品传递装置、计算机控制系统、电控系统、配气系统等部分组成。标准配置： (1)全自动计算机控制(蒸发源、膜厚、样品台、真空) ; (2)计算机控制样品和挡板转动、换样; (3) 12个蒸发源(4个金属源、 8个有机源); (4)可同时控制三个蒸发源的速率和相对比率; (5) 4个石英晶振膜厚监控仪; (6)样品台可同时支持3片基板和 3片掩模板: (7)连接氮气手套箱(带匀胶机) ; (8)冷却泵+机械泵; (9)冷却水+氮气充气

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无