设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62334950

电子邮箱: tengjiao@mater.ustb.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区学院路55号

邮政编码: 100083

联系人: 滕蛟

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: ATC-1800F

所属科研设施:

主要功能: DC、RF溅射，可制备金属、氧化物等薄膜

主要技术指标: 本底真空优于5×10－8 Torr, 溅射均匀区不小于4英寸，溅射速率为0.1nm

安放地址: 学院路

服务内容: DC、RF溅射，可制备金属、氧化物等薄膜

服务的典型成果: 纳米磁性薄膜制备设备，可以制备纳米磁性薄膜，能加热，共五个靶位。

对外开放共享规定: 工作日开放，提前预约

参考收费标准: 按样品数量、使用机时计费，具体收费根据实际实验内容而定