设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62332475

电子邮箱: sgk@ustb.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区学院路80号

邮政编码: 100083

联系人: 李成明

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: 非标

所属科研设施:

主要功能: CVD 金刚石沉积

主要技术指标: 100kW

安放地址: 学院路

服务内容: CVD 金刚石沉积

服务的典型成果: 1、金刚石等多种薄膜的化学汽相沉积的研究和中试加工；2、基片的刻蚀和灰化；3、作为高密度、宽束离子源；低温氧化物的生长；4、等离子体表面处理和其它实验加工。

对外开放共享规定: 工作日开放，提前预约

参考收费标准: 按样品数量、使用机时计费，具体收费根据实际实验内容而定