设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 010-62332475

电子邮箱: sgk@ustb.edu.cn

通讯地址: 北京市海淀区学院路83号

邮政编码: 100083

联系人: 贺琦

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MPG-2050C

所属科研设施:

主要功能: 金刚石薄膜化学气相沉积，材料表面等离子体处理

主要技术指标: 生长速率0.5μm/h，功率5KW

安放地址: 学院路

服务内容: 金刚石薄膜化学气相沉积，材料表面等离子体处理

服务的典型成果: 1、金刚石等多种薄膜的化学汽相沉积的研究；2、基片的刻蚀和灰化；3、作为高密度、宽束离子源；4、低温氧化物的生长；5、等离子体表面处理和其它实验加工。

对外开放共享规定: 工作日开放，提前预约

参考收费标准: 按样品数量、使用机时计费，具体收费根据实际实验内容而定