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软X射线干涉光刻(XIL)分支线站  (收藏)

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设备分类编码: 990000

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 研制

联系电话: 021-33933208

电子邮箱: wuyanqing@sinap.ac.cn

通讯地址: 上海市浦东新区张衡路239号

邮政编码: 201204

联系人: 吴衍青

仪器所属类别: 其他仪器>>其他>>其他

规格型号: BL08U1B

所属科研设施:

主要功能: 为信息科学、材料科学、生命科学等重要研究领域的发展提供新的研究手段

主要技术指标: 光子能量范围:85-150eV ;样品处光通量:1×10^14phs/s/cm2/0.3A @ 92eV; 掩膜处光斑尺寸:>3×3mm^2(H×V);干涉条纹周期:100nm;单次曝光尺寸:0.4*0.4mm^2

安放地址: 上海市浦东新区张衡路239号

服务内容: X 射线干涉光刻技术应用等

服务的典型成果: 金属周期纳米阵列对表面增强拉曼散射信号增强的影响、等

对外开放共享规定: 上海光源用户均通过上海光源用户办公室提交课题申请。上海光源每年分两次组织专家对用户申请课题进行评审,上海光源国家科学中心(筹)负责落实机时分配计划,为用户开展研究工作提供机时和实验条件,并对用户课题执行过程及后续成果反馈进行动态跟踪。

参考收费标准: 免费



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