设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65881259

电子邮箱: mfpeng@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 彭明发

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: MJB4

所属科研设施:

主要功能: 光刻机是半导体制造业的重要设备，主要用于加工微电机，目标实现1微米甚至亚微米级别的结构

主要技术指标: 基片大小：100mm直径或是4”×4 ”的基片 基片厚度：可以实现4mm厚度的基片曝光 掩膜板大小：可以实现从2”× 2”到5”× 5”掩膜板 基片种类：可以实现碎片基片（最小5mm*5mm）到4”× 4”的基片的曝光 光源强度：可以安装500W的氙灯 支持恒定光强或恒定功率模式 分辨率：软接触方式可以实现2um的结构 硬接触方式可以实现1um的结构 使用真空接触方式可以实现0.5um的结构

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无