设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65881259

电子邮箱: mfpeng@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 彭明发

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: KJLC PVD 75

所属科研设施:

主要功能: 磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜，亦可镀铁磁材料。主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。

主要技术指标: 1.配装3支Ф2英寸的磁控溅射靶，其中一支可镀铁磁材料。 2.磁控溅射靶射频（RF）、直流（DC）兼容。 3.每只磁控溅射靶均配备挡板，基片配挡板。 4.极限真空：5*10-5Pa；工作背景真空：7*10-4Pa. 5.基片尺寸≤Ф4英寸。 6.基片可加热至500℃. 7.控制系统：PC+PLC全自动控制。

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无