设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65881259

电子邮箱: mfpeng@suda.edu.cn

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 彭明发

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: KJLC PVD 75

所属科研设施:

主要功能: 电子蒸发镀膜机是一种普适镀膜机，用于镀制各种单层膜、多层膜。可镀各种硬质膜、金属膜。主要用于制备纳米器件、有机光电器件的金属电极，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。

主要技术指标: 1.基片尺寸≤Ф12英寸 2.电子枪功率：5-10KW 3.极限真空度：5×10-5Pa4.真空抽速：3×10-4Pa/20min 5.衬底温度：350℃6.温度均匀性：±10℃ 7.样平台转速：≤20r/min8.坩埚数量：4 9.镀膜均匀性：±5%（Al）10.控制系统：PC+PLC全自动控制

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无