设备分类编码: 120301

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65112492

电子邮箱: zbfang@nicrotek.com

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 方宗豹

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电路板制造工艺实验设备

规格型号: ABM/6/350/NUV/DCCD/BSV/M

所属科研设施:

主要功能: "功能：用于掩膜拷贝曝光； 应用范围：微光学、微点路、MEMS、微流道等； "

主要技术指标: 主要规格： 1、 光源：350W NUV； 2、 双CCD、双面对准系统；CCD图像倍率：180x~1200x；2个17寸LCD监视器； 3、 支持2、4、6英寸方基片；2、3、4、5、6英寸圆基片；技术指标： 1、365nm光强密度：18-20mW/cm2；400nm光强密度：30-35mW/cm2； 2、均匀性：50mm口径<±1%；100mm口径<±2%；150mm口径<±3%； 3、分辨率：0.6um（接触式）；1um（接近式）； 4、正面对准精度：±0.5um 5、背面对准精度：±2um "

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无