设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0511-8878012

电子邮箱: zhao1219@ujs.edu.cn

通讯地址: 江苏省镇江市京口区

邮政编码: 200000

联系人: 赵晓华

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: FJL600E1

所属科研设施:

主要功能: 制备各种单层或多层金属膜、介质膜、半导体膜。该设备为在材料（金属、非金属）表面制备具有多种特殊性能的膜层的专用设备，是物理气象沉积（PVD）这一先进材料技术的必需硬件。可用于进行材料表面改性、表面金属-无机复合、表面镀膜等类型的研究。

主要技术指标: 限真空度：主溅射室6.6×10-5Pa，进样室5×10-4Pa；工作真空度可调靶：磁控靶/射频靶，水冷，射频靶2×φ50，直流靶1×φ50衬底：多片样品，可水冷，可加热结构：主溅射室φ350×280，夹壁水冷。

安放地址: 无

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无