设备分类编码: 120399

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65113371

电子邮箱: bcao2006@163.com

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 曹冰

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>其他

规格型号: LDJ-3B

所属科研设施:

主要功能: 该系统是一种双离子源，外加靶台的镀膜沉积系统。要求保证镀膜均匀区：100mm，保证镀膜的致密性及表面光洁度达到要求。

主要技术指标: 1．主离子源 离子源发射束径： ≥Φ120mm； 离子能量可调范围： 0-1000eV； 2．辅助离子源 离子束轰击范围直径： ＞Φ100mm； 离子能量可调范围： 0-1000eV； 3．四靶台（水冷、外部随机换靶）或三靶台 靶台一次可装不同材料靶数： 4靶或3靶； 靶温： ＜100℃； 4．旋转扫描式衬底台（水冷）,具备台面自转 台面直径： ≥Φ110mm； 5．沉积薄膜可控度 沉积薄膜均匀性： ±5%以内； 6. 真空性能指标 系统极限压强：≤8.5*10-5Pa； 系统工作前本底压强：≤5*10-4Pa；（从大气抽至本底真空度小于45分钟）

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无