设备分类编码: 120302
仪器设备分类: 通用
主要学科领域: [材料科学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 021-65642110
电子邮箱: feixiao@fudan.edu.cn
通讯地址:
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联系人: 肖斐
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备
规格型号: S-820B
所属科研设施:
主要功能: 用于电子封装工艺过程中各种胶体材料的精确施加,如芯片粘贴剂、导电胶、底部填充料、包封剂等,需要精确控制胶体材料用量和施加位置,获得好的工艺条件和封装效果。 S-820B点胶平台集成了高级过程控制功能,具有流量控制、校准过程喷射、飞行中喷射、动态点胶控制等性能,提供了很高的点胶精度。
主要技术指标: 编码器分辨率:10μm;移动速度:X-Y最大500 mm/s,Z轴最大500mm/s;定位精度:±0.075mm;点胶重复性:X-Y方向:±0.025mm;Z方向:±0.025mm;工作平台:≥350×350mm,基板具有加热控温功能(室温-100℃);Z轴行程:75 mm;有效载荷:工作有效载荷2kg,工件有效载荷3kg。
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: