设备分类编码: 129900
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [信息科学与系统科学, 物理学, 材料科学, 电子与通信技术]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 021-62511070
电子邮箱:
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 彭炜
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他
规格型号: Delta80RC
所属科研设施:
主要功能: 光刻胶处理系统
主要技术指标: 光刻胶处理系统
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准: