设备分类编码: 120299

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 化学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65113371

电子邮箱: bcao2006@163.com

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 曹冰

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>化工、制药工艺实验设备>>其他

规格型号: JZM0350-AB

所属科研设施:

主要功能: 用于薄膜的制备

主要技术指标: 1、石英腔体部分： 1.1腔体尺寸：石英腔体(GE)Φ160x700mm； 1.2加热温度： 室温～1600℃，可控可调； 1.3.加热形式：中频感应加热； 1.4.样品可旋转（0-60rpm，可控可调）； 1.5.气路系统：质量流量控制器15台（进口）； 2、金属不锈钢腔体部分：（以下为腔体可扩展使用指标） 2.1高真空反应沉积室，极限真空度优于：5Pa； 2.2.反应沉积室尺寸：φ200×300mm； 2.3.样品台尺寸为φ50mm，可旋转（速率0～60rpm连续可调）；

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无