设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 能源科学技术, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-33932085

电子邮箱: wangliansheng@sinap.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 王连升

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: CABL9500C

所属科研设施:

主要功能: 微纳加工制造领域，周期性纳米结构，如光栅、点阵、波带片等

主要技术指标: 最大加速电压50 KV,最小束斑2nm,束流大小稳定性<±1% /5 h,束斑位置稳定性±30 nm/5 h,扫描频率100 MHz,工作台行程范围100mmx100mm,拼接精度≤35nm,Mean +3σ,套刻精度≤35nm,Mean +3σ

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: