设备分类编码: 129900

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0512-65111693

电子邮箱: davic8325@163.com

通讯地址: 苏州市吴中区干将东路333号

邮政编码: 215002

联系人: 楼益民

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>其他>>其他

规格型号: iGrapher200

所属科研设施:

主要功能: 分析材料的激光性能

主要技术指标: 1、最大光刻幅面：200mm×200mm； 2、光刻速度（以铬掩模板光刻工艺评价）：大于300mm2/分钟（1 um分辨率）；大于50mm2/分钟（0.5 um分辨率）；大于20mm2/分钟（0.1 um分辨率周期图形） 3、支持数据格式：GDSII、DXF、BMP（支持更多不限）； 4、适应基片：硅片、石英片、玻璃片等，厚度0-5mm； 5、支持0.5um以上分辨率掩膜板制作；支持200 nm-3 um周期光子晶体制作；

安放地址: 干将东路333号

服务内容: 无

服务的典型成果: 无

对外开放共享规定: 无

参考收费标准: 无