设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-65642110

电子邮箱: feixiao@fudan.edu.cn

通讯地址:

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联系人: 肖斐

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: IB-09010CP

所属科研设施:

主要功能: 用于器件分析中截面样品的精确定位制样，是显微分析制样、器件可靠性研究、封装结构及失效分析必不可少的仪器。该设备可对剖面进行精密（厚度可控）的抛光，适用于各类硬度材料的器件、不同材料的界面样品制备。

主要技术指标: 离子加速电压：2-6 KV；离子束直径：不小于500 um；抛光速率：不小于100 um/h；试样最大尺寸：不小于11 mm x 10 mm x2 mm；试样移动范围：X轴：10mm；Y轴：3mm；试样转动角度调节范围：5 度；试样抛光旋转（摇摆）角度：30度。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: