设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070-8945

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邮政编码:

联系人: 孙浩

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: QBOX

所属科研设施:

主要功能: 主要用于金属膜的电子束沉积，特别适用于金属剥离工艺。

主要技术指标: 真空腔尺寸： 450 D (mm) 批次能力：4英寸1片，2英寸2片 均匀性：≤ ±3%（2英寸） 主真空泵：涡轮分子泵 机台尺寸：2266 W×850 D×1900 H（mm）

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: