设备分类编码: 120499

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [物理学, 材料科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070

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联系人: 彭炜

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>加工工艺实验设备>>其他

规格型号: MA6

所属科研设施:

主要功能: 可实现微米尺度（≤2？m）的图形曝光 可进行正反面对准曝光 多种接触方式曝光：Vacuum、Hard、Soft、Proximity

主要技术指标: 光源波长：240-450nm G-line滤波 支持基底尺寸：2英寸以下，2英寸，4 英寸，6英寸 支持掩模板尺寸：2.5英寸，3英寸，4英寸，5英寸，7英寸 光刻最小线宽：2um 最小对准误差：≤1um（正面）、≤2um（反面）

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服务内容:

服务的典型成果:

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