设备分类编码: 010803

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 生物学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 020-84113215

电子邮箱: gongli2@mail.sysu.edu.cn

通讯地址: 广东省广州市海珠区新港西路135号中山大学南校园测试大楼126室

邮政编码: 510275

联系人: 龚力

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>扫描探针显微镜

规格型号: Fastscan

所属科研设施:

主要功能: 扫描探针显微镜配备两个扫描管（icon及fastscan）及多种扫描模块，搭配不同类型的探针，可以在大气和液体环境中对样品的表面拓扑形貌和力学、电学、磁学特性进行测量，给出样品表面的粗糙度、弹性系数、粘滞力、表面静电力、表面电容等物理量，其先进的peak force tapping及智能成像技术不仅可以对样品表面进行原子级别的高分辨成像，同时可以对样品进行快速扫描，达到样品表面快速成像的目的，是研究材料表面特性的重要表面分析仪器。

主要技术指标: 1、扫描范围：icon扫描管90um*90um*10um，fastcan扫描管35um*35um*3um 2、XY方向噪音水平：开环控制<0.1nm，闭环控制<0.15nm。 3、Z方向噪音水平：开环控制<0.03nm，闭环控制<0.035nm. 4、分辨率：可持续稳定得到原子级分辨率。 5、扫描速度：XY方向最大扫描速度：>2mm/s，Z方向最大扫描速度：>12mm/s

安放地址: 新港西路135号中山大学

服务内容: 表面形貌，表面电势，表面力学性能测试。

服务的典型成果: 扫描探针显微镜具有开尔文探针法测量的功能，对其进行开发和拓展，实现了在光照情况下对样品的表面电势测量，并将其应用在实际的测试和研究中。以我校沈辉教授课题组的送检样品为例，该课题组研究通过激光烧蚀的方式对Si基太阳能电池进行掺杂的研究。在研究过程中，通过调控激光功率和气氛气压，实现了Si太阳能电池的梯度掺杂，为了能够准确测出其掺杂梯度的分布情况，首先从理论上分析了掺杂浓度的变化会导致表面电势的变化。进而我们采用开尔文显微镜的方法，通过多次调试与探讨，获得了准确的太阳能电池的表面电势分布图。相关工作已经发表者APPLIED PHYSICS LETTER杂志上。

对外开放共享规定: 没有要求

参考收费标准: 测试费：大气环境下形貌测试800元/小时；液体环境下形貌测试1000元/小时；表面力学电学测试1000元/小时；快速扫描1200元/小时。材料费：50元/小时，快速扫描80元/小时。