设备分类编码: 120302
仪器设备分类: 专用
主要学科领域: [信息科学与系统科学, 材料科学]
仪器设备来源: 购置
联系电话: 021-62511070-8402
电子邮箱:
通讯地址:
邮政编码:
联系人: 席韡
仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备
规格型号: ACS-4000-C4
所属科研设施:
主要功能: 无
主要技术指标: 无
安放地址:
服务内容:
服务的典型成果:
对外开放共享规定:
参考收费标准:
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