设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 0510-81817021

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联系人: 罗九斌

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: SRO706

所属科研设施:

主要功能: ATV SOR706可用于真空气密性、无空洞、高可靠性焊接。

主要技术指标: 炉温温度范围：室温至500℃，温控精度±1℃，温度曲线可设定。 加热板面积200cm2，温度均一性为±5%。 加热速率大于50℃/min，冷却速率大于100℃/min，均可按需设 定。 炉腔最小真空度1×10-4Pa，采用干式真空泵。 可接入保护性工艺气体，附带精确流量控制器。 炉腔配备分区加热功能，可在高温加热激活吸气剂而保护敏感元件 不受高温影响。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: