设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070-2113

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 李晓良

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: MJB3 UV400

所属科研设施:

主要功能: 半导体器件制作工艺

主要技术指标: 可进行3”基片图案光刻；光刻1微米以上线条等, 曝光灯强度及曝光时间均可调，曝光灯均匀性误差 ≤±5% 。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: