设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070-8301

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 龚谦

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: V90

所属科研设施:

主要功能: 半导体材料生长

主要技术指标: 系统产能：3片2”外延片/轮；1片4”外延片/轮

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: