设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070

电子邮箱: xyh8223@mail.sim.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 宋三年

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: EVG301 EVG810

所属科研设施:

主要功能: 半导体材料键合

主要技术指标: 温度范围：室温至400oC) 。适用样品尺寸：3-6’’。备有软件可控清洗。适用于3-6”圆片的键合，可红外线在线观察键合界面。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: