设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070-8402

电子邮箱: xyh8223@mail.sim.ac.cn

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联系人: 刘波

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: LLSEVO

所属科研设施:

主要功能: 8英寸相变材料的制备；由于相变材料与电极材料之间可能存在交叉污染问题，同时需要电极材料制备的PVD设备，二者不能共用台设备。在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。

主要技术指标: 平底真空：< 5**pa 样品尺寸：8英寸 样品数量：9片 极限温度：350摄氏度 RF电源：1-6KW DC电源：10KW、12KW

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: