设备分类编码: 120303

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [物理学, 电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-54263338

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通讯地址:

邮政编码:

联系人: 张进

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>电真空器件工艺实验设备

规格型号: MSP-3300

所属科研设施:

主要功能: 溅射Al、Cr、SiN等薄膜材料，均匀性优于+/-5%

主要技术指标: 薄膜厚度均匀性优于+/-5%，溅射速率达2000A/min，表面发射率优于90%

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: