设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [电子与通信技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-54263338

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 庞俊

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: ASE

所属科研设施:

主要功能: 对Si进行高深宽比的各向异性腐蚀

主要技术指标: 腐蚀硅深宽比达1:25，最小线宽2um，侧墙90°+/-0.5° 速率达2um/min

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: