设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [能源科学技术]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070

电子邮箱:

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 周健

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: RPD-PCS4/CK

所属科研设施:

主要功能: /用于沉积ITO和IWO等透明导电薄膜

主要技术指标: /成膜均匀性92%，成膜面积大于100cm×100cm

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: