设备分类编码: 010803

仪器设备分类: 通用

主要学科领域: [材料科学, 冶金工程技术, 机械工程]

仪器设备来源: 购置

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联系人: 刘运腾

仪器所属类别: 分析仪器>>显微镜及图象分析仪器>>扫描探针显微镜

规格型号: EVOMA10

所属科研设施:

主要功能: 用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

主要技术指标: 1、光学系统 1.1、光源：钨灯丝。预对中式灯丝，灯丝具有自动加热、自动对中功能。 1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。 1.3、光阑：三级可调物镜光阑。 1.3、加速电压：200V－30kV，10V步进连续可调。 1.4、图像电平移：±50μm。 1.5、放大倍数：7×~1000,000×，连续可调。 1.6、分辨率：高真空二次电子像＜3.0nm（30kV）； 低真空背散射电子像＜4.5nm（30kV）。 1.7、探针电流范围：0.5 pA~5 μA，连续可调。 1.8、聚焦工作距离：2mm~145mm。 1.9、电子束气体路径长度：＜2mm。 2、真空系统 2.1、真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。 2.2、真空度：最高真空度：优于0.1mPa； 低真空压力范围：10Pa~400Pa。 2.3、在低真空条件下，保持8.5的工作距离，并且可以做能谱分析。 3、样品系统 3.1、样品室内部尺寸：310mm (直径) x 220mm（高） 3.2可放置的最大样品尺寸：直径200mm，高度100mm 3.3、最大允许样品重量：不小于5kg。 3.4、样品台移动方式：五轴全自动马达驱动。 3.5、样品台移动范围：X轴80mm, Y轴100mm, Z轴35mm,0°~+90°倾斜，360°旋转 。 3.6、样品台移动精度：重复性<2 μm；最小步长<100nm；漂移<40nm/6min。 3.7、样品台具有接触报警与自动停止功能。 3.8、具备样品位置感知功能。 3.9、红外CCD摄像头。 4、 探测器系统 4.1、具备高真空二次电子探测器。 4.2、具备低真空二次电子探测器。 4.3、具备背散射电子探测器。 4.4、具备X射线能谱仪接口。 4.5、探测器成像模式：同时对二次电子和背散射电子成像，并可在一种图像中任意位置显示另外一种图像。 4.6、扫描方式：全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿。 4.7、整机系统控制要求独立控制单元，为检修提供方便。

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

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