设备分类编码: 120302

仪器设备分类: 专用

主要学科领域: [信息科学与系统科学, 材料科学]

仪器设备来源: 购置

联系电话: 021-62511070-8501

电子邮箱: lxyou@mail.sim.ac.cn

通讯地址:

邮政编码:

联系人: 尤立星

仪器所属类别: 工艺试验仪器>>电子工艺实验设备>>半导体集成电路工艺实验设备

规格型号: LKJ-150D

所属科研设施:

主要功能: 各种金属、非金属材料及超导材料刻蚀

主要技术指标: 离子束能量：200-650eV；6英寸离子源；均匀度 5%；极限真空1×10e-4 Pa

安放地址:

服务内容:

服务的典型成果:

对外开放共享规定:

参考收费标准: